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單靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)
簡要描述:

單靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)我公司研發(fā)的實驗室專用鍍膜儀,典型的高速低溫濺射。單靶磁控濺射鍍膜儀可選配500W-1000W不等的射頻電源。

  • 產品型號:CY-MSH325- I-RF-SS
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:194

詳細介紹

品牌CYKY價格區(qū)間5萬-10萬
產地類別國產應用領域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

CY-MSH325- I-RF-SS靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)為我公司研發(fā)的實驗室專用鍍膜儀,設備可選配直流電源,和射頻電源,功率從500W-1000W不等,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等。
磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點,鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時間穩(wěn)定工作。  

設備經過緊湊化設計,實現了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機均采用觸控屏控制,內置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是一款實驗室制備薄膜的理想設備。  

磁控鍍膜儀典型應用:

•    科研領域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。

•    電子行業(yè):半導體、傳感器、導電薄膜制備。

•    教學演示:材料科學、真空技術實驗教學。

•    以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學領域,體現其多功能性和廣泛應用價值:

靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)技術參數:


項目  

明細  

產品型號  

CY-MSH325- I-RF-SS  

供電電壓  

AC220V50Hz  

整機功率  

4KW  

系統(tǒng)真空  

5×10-4Pa  

樣品臺  

外形尺寸  

φ150mm  

加熱溫度  

500℃  

控溫精度  

±1  

可調轉速  

20rpm  

磁控靶槍  

靶材尺寸  

直徑Φ50.8mm,厚度3mm  

冷卻模式  

循環(huán)水冷  

水流大小  

不小于10L/Min  

真空腔體  

腔體尺寸  

直徑φ325mm,高度500mm  

腔體材質  

SUU304不銹鋼  

觀察窗口  

直徑φ100mm  

開啟方式  

頂開式  

氣體控制  

1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM  

真空系統(tǒng)  

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S  

膜厚測量  

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?  

濺射電源  

射頻電源500W

控制系統(tǒng)  

CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)  

設備尺寸  

600mm   × 650mm × 1280mm  

設備重量  

350kg  





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