桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備

產(chǎn)品型號：CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-11-17
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詳細(xì)介紹

品牌	CYKY	價(jià)格區(qū)間	10萬-30萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設(shè)備為桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。

本套配置采用高真空不銹鋼腔體，前開門式設(shè)計(jì)，門上配有石英觀察窗，便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄。同時(shí)設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。頂蓋上裝有一套擋板，可通過轉(zhuǎn)動擋板切換兩支靶，實(shí)現(xiàn)多層鍍膜。

本設(shè)備需要配合高真空分子泵組一起使用，用戶可以選擇進(jìn)口品牌小型分子泵以進(jìn)一步節(jié)省安裝面積。同時(shí)該型號可選配膜厚儀組件，可實(shí)時(shí)監(jiān)測膜厚數(shù)據(jù)，為實(shí)驗(yàn)工藝提供可靠參數(shù)。

雙靶磁控鍍膜儀參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀
產(chǎn)品型號	CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
樣品臺	外形尺寸	φ60mm
	加熱溫度	≦500℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支2英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ210mm X260mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	304不銹鋼
	開啟方式	上蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	前級泵	低噪音雙極旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速渦輪分子泵
	真空測量	復(fù)合真空計(jì)，量程:10^-5~10⁵Pa
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	系統(tǒng)真空	1.0×10^-4Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數(shù)量	直流電源兩套
電源配置	輸出功率	500W
其他參數(shù)	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)功率	2kW
	整機(jī)尺寸	550mm X 350mm X400mm