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產(chǎn)品型號(hào)：CY-MSH300-II-RF?DC-SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-17訪 問 量：175產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
雙靶磁控濺射鍍膜儀為我公司研發(fā)的配有兩個(gè)靶位的小型實(shí)驗(yàn)室用鍍膜儀，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn)，鍍膜速率高，樣品溫升低，是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層，水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量，避免熱量在靶面聚集，使磁控鍍膜能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。與同類設(shè)備相比，這款雙靶磁控濺射鍍膜儀不僅應(yīng)用廣泛，且體積小便于操作，是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-MSH300-II-RFDC-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機(jī)功率 | 3KW | |
極限真空度 | 10-6torr | |
載樣臺(tái)參數(shù)
| 尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | *高500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
磁控濺射頭參數(shù)
| 數(shù)量 | 2個(gè)2"磁控濺射頭 |
冷卻方式 | 水冷，所需流速10L/min | |
水冷機(jī)規(guī)格 | 16L/min流速的循環(huán)水冷機(jī) | |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ300mm X 300mm H |
腔體材料 | 不銹鋼 | |
觀察窗口 | φ100mm | |
開啟方式 | 上頂開式，便于更換靶材 | |
氣體流量控制器 | 4路分別通N2，Ar，O2，空氣；量程均為0-500sccm | |
真空泵 | 配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S | |
膜厚儀 | 石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀一臺(tái)，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源一臺(tái)，500W，適用于制備金屬膜 射頻電源一臺(tái)，300W，適用于非金屬鍍膜 | |
操作方式 | 面板按鈕操作 | |
整機(jī)尺寸 | 1400mm X 750mm X 1300mm | |
整機(jī)重量 | 300kg | |
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