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真空磁控濺射鍍膜機(jī)
簡(jiǎn)要描述:

該真空磁控濺射鍍膜機(jī)非常適合物理沉積 (PVD)、化學(xué)沉積 (CVD)、等離子體化學(xué)沉積 (PECVD)、熱噴涂、電子束濺射等多種鍍膜

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSV250
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-11-17
  • 訪  問(wèn)  量:261

詳細(xì)介紹

品牌CYKY價(jià)格區(qū)間5萬(wàn)-10萬(wàn)
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

通用真空磁控鍍膜儀腔體設(shè)計(jì)用于在低壓至高真空 - 5·10-7 mm 下進(jìn)行物理實(shí)驗(yàn)。該真空腔體非常適合物理沉積 (PVD)、化學(xué)沉積 (CVD)、等離子體化學(xué)沉積 (PECVD)、熱噴涂、電子束濺射等多種鍍膜。 此外,在安裝適當(dāng)?shù)脑O(shè)備時(shí),真空柱還可用于進(jìn)行固體物理領(lǐng)域的研究。  

 

抽氣和真空室升降過(guò)程有手動(dòng)和自動(dòng)兩種控制方式。 真空柱的壓力和狀態(tài)顯示在液晶顯示屏上。  

 

真空室被制成帽的形式。 腔室材料為不銹鋼,箱體上焊接有矩形冷卻通道。 腔室法蘭有許多支管,用于連接各種輸入:旋轉(zhuǎn)、電氣、低溫。 真空柱配備有自動(dòng)室提升機(jī)構(gòu)。  


技術(shù)參數(shù):

真空系統(tǒng)  

真空室內(nèi)徑  

不小于250mm  

真空室高度  

不小于400mm  

攝像頭類型  

圓筒鐘型  

腔體材質(zhì)  

不銹鋼,12X18H10T  

腔體內(nèi)表面加工  

研磨、拋光  

前級(jí)泵抽速  

不小于5m3/h  

前級(jí)泵類型  

干式螺旋泵  

高真空泵類型  

渦輪分子泵組  

高真空泵抽速  

不小于300l/s  

冷卻系統(tǒng)  

線圈,入口/出口配件:1/4'  

工作真空度  

1x10-6毫米汞柱  

極限真空  

5х10-7毫米汞柱  

達(dá)到工作真空的時(shí)間  

不超過(guò)60分鐘  

真空計(jì)類型  

組合式寬范圍型  

壓力測(cè)量范圍  

760 mm Hg  

旁路泵送管線  

 

高真空閥  

氣動(dòng),常閉  

連接法蘭  

KF16 – 2個(gè). KF25 –   6個(gè).  

控制類型  

手動(dòng)/自動(dòng)  

真空系統(tǒng)控制方法  

電動(dòng)氣動(dòng)  

真空系統(tǒng)壓力和狀態(tài)指示  

控制面板上的液晶顯示屏  

外形尺寸  

xx高(1000x1200x1800(2400)mm  

重量  

不超250KG  

電源電壓  

220V  

電源相數(shù)  

1  

進(jìn)氣壓力  

4-8 Bar  

功耗  

0.5KW  

 

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