射頻電源  

信號頻率  

13.56MHz  

功率輸出范圍  

0~500W  

*大反射功率  

100W  

反射功率 (在*大功率時)  

<5W

功率穩(wěn)定性  

±0.1%  

工作腔體  

加熱溫度  

RT-1000℃  

溫控精度  

±1℃  

樣品臺尺寸  

Φ200mm  

樣品臺轉(zhuǎn)速  

1-20rpm 可調(diào)  

噴頭尺寸  

Φ90mm  

距離  

噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續(xù)可調(diào)  

沉積工作真空  

0. 133- 133Pa （可根據(jù)工藝調(diào)整）  

法蘭  

上法蘭可由電機(jī)升降，基材易更換，并有可視窗口  

腔體  

不銹鋼材質(zhì),   Φ500mm * 500mm  

觀察窗  

Φ100mm, 帶擋板  

供氣系統(tǒng)  

通道數(shù)  

6  

測量單位  

質(zhì)量流量計  

測量范圍  

A 通道: 0～200SCCM for H2    

B 通道: 0～200SCCM for CH4  

C 通道: 0～200SCCM for C2H4  

D通道: 0～500SCCM for N2  

E通道: 0～500SCCM for NH3  

F通道: 0～500SCCM for Ar  

測量精度  

±1.5%F.S  

工作壓差  

-0.15Mpa~0.15Mpa  

連接管材質(zhì)  

304 不銹鋼  

氣路  

304 不銹鋼針閥  

進(jìn)氣和出氣接口規(guī)格  

1/4" 卡套接頭  

真空系統(tǒng)  

前級泵抽速  

4.7L/s  

分子泵抽速  

1200L/s  

真空測量  

復(fù)合真空計, 范圍10-5Pa   ~ 105Pa  

真空度  

5.0*10-3Pa  

水冷機(jī)  

冷卻水溫度  

≦37℃  

水流速  

10L/min  

功率  

0.1KW  

冷卻功率  

50W/℃  

空壓機(jī)  

OTS-550