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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗機(jī)帶有數(shù)字真空傳感器和顯示器，以及鉸鏈門。適用于各種氣體對(duì)2英寸以下晶圓片的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下，有機(jī)去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機(jī)是一種較好的單晶基材涂裝前預(yù)清潔的工具，可達(dá)到較好的涂膜質(zhì)量。
等離子清洗機(jī)去除有機(jī)污染物是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置，直徑8.5英寸x 14英寸長石英腔和0 - 80W可變射頻功率。8.5“實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對(duì)基體或晶圓片表面的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。
緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)用于清潔所有類型的晶體基板，以低成本實(shí)現(xiàn)更好的薄膜質(zhì)量。此外，紫外線臭氧清洗機(jī)是去除和剝離光刻膠、改善表面潤濕性、清潔SEM和TEM樣品、UV聚合物活化、組裝等的理想工具。
實(shí)驗(yàn)室紫外線臭氧清洗機(jī)可用于去除石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等大多數(shù)無機(jī)基材上的有機(jī)污染物，提供了一種高效、精密的清洗方式，也是表面改性的一種非常重要的技術(shù)。
大氣低溫等離子清洗機(jī)作用到固體樣品表面,不但去除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。大氣等離子清洗機(jī)可以提高固體表面的潤濕性能。
大氣旋轉(zhuǎn)等離子清洗機(jī)又叫等離子表面處理儀（器），是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。
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