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產(chǎn)品型號：CY-LP廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-11-17訪 問 量：173產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
等離子清洗機(jī)去除有機(jī)污染物配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空，同時通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。
等離子清洗機(jī)去除有機(jī)污染物技術(shù)參數(shù)：
輸入功率 | • AC 220V , 50/60 Hz, • 射頻功率：80 W Max.（標(biāo)準(zhǔn)） • 真空泵：正常550W,啟動750W • 總功率：830W max. • 工作電流≤3A |
射頻功率 | • 射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié) • 射頻：13,56 MH • 可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費(fèi) |
等離子室 | • 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室 • 體積: 12 L • 鉸鏈?zhǔn)角胺ㄌm由鋁制成 • 2.3"直徑（60mm）石英窗口，便于觀察 • 屏蔽RF輻射，零RF泄漏 |
控制面板 | • 6"彩色觸摸屏，可自動控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時間。 • 內(nèi)置一個通道質(zhì)量流量計（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m |
真空泵和閥門 | • 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 • *終總壓力為50 mTorr |
惰性氣體 | • 可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內(nèi)） • 等離子清潔器不得使用 |
總體尺寸 | 620 L×600 W×600 H, mm |
保證 | 一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
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