射頻功率  

•    射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)  

•    射頻：13,56 MH  

•    可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費(fèi)  

等離子室  

•  8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室  

• 體積: 12 L  

• 鉸鏈?zhǔn)角胺ㄌm由鋁制成  

•  2.3"直徑（60mm）石英窗口，便于觀察  

• 屏蔽RF輻射，零RF泄漏  

控制面板  

•  6"彩色觸摸屏，可自動控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時間。  

• 內(nèi)置一個通道質(zhì)量流量計（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m  

真空泵和閥門  

• 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用  

• *終總壓力為50 mTorr  

惰性氣體  

• 可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內(nèi)）  

• 等離子清潔器不得使用  

總體尺寸  

620   L×600 W×600 H, mm  

保證  

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修)