紫外燈  

•     固體金屬雙波汞燈  

•     紫外燈功率：zui大55W。  

•     波長：254nm和185nm  

•     紫外燈使用壽命：2500小時  

•     紫外線照射面積：100×100 mm（4"×4"）  

•     峰值紫外線強度：4.6毫瓦/平方厘米。  

腔室和樣品臺  

•     外形尺寸：9 1/2"×7 7/8"×6"  

•     抽屜尺寸：5 1/4"×5 1/4"×1"  

•     抽屜到燈的距離：1 1/16“  

•     從基座到燈的距離：5/16“  

•     硼硅酸鹽玻璃基座：4"×4"×3/4"  

•     18號鋼制底盤和蓋板，粉末涂層  

•     總重量：9磅  

合規(guī)  

CE認(rèn)證  

保證  

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室不保修)  

環(huán)境要求  

•    只在室內(nèi)使用;海拔高度可達(dá)5,562英尺;  

•    溫度范圍41-104華氏度;  

•    zui高相對濕度80％，高達(dá)87 華氏度線性降低至50％相對濕度，華氏104度;  

•    主電源波動不超過額定電壓的10％;過壓類別II;  

•    污染等級2;臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。

Application  

•    清潔SPT，AFM**和表面的分子污染  

•    固化UV-粘合劑  

•    SAM表面的紫外光圖案化  

•    氧化PDMS  

•    蝕刻，圖案，銳化  

•    清潔MEMS器件  

•    清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底