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光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀
簡(jiǎn)要描述:

光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設(shè)備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質(zhì)的膜層。

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ180-I-DC-SS?
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-11-18
  • 訪  問  量:336

詳細(xì)介紹

品牌CYKY價(jià)格區(qū)間10萬-30萬
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥

光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀是一種常見的物相沉積(PVD)技術(shù),用于制備各種薄膜材料。其工作原理是使用一種叫做磁控濺射的技術(shù),將高純度的金屬或合金靶材濺射生成離子和中性原子,并將它們沉積在基底上形成薄膜。在這種濺射系統(tǒng)中,使用單個(gè)靶材,通常是金屬或合金的圓盤形,通過在靶材上施加高電壓和磁場(chǎng),將靶材表面的粒子加速并噴向基底。由于基底通常是經(jīng)過高溫處理過的,因此濺射的金屬粒子會(huì)快速擴(kuò)散并形成均勻的薄膜。  

為了增加濺射速率和膜質(zhì)量,光纖繞絲技術(shù)被引入其中。在光纖繞絲技術(shù)中,將纖維繞在靶材和基底之間,形成一條薄薄的縫隙。通過調(diào)整靶材和基底之間的距離并控制濺射能量,可以更加控制沉積在基底上的薄膜的厚度和組成。  

光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設(shè)備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質(zhì)的膜層。  

這種濺射系統(tǒng)非常適合制備高質(zhì)量、高純度、均勻性好的金屬和合金薄膜,廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)、電池、太陽能電池等領(lǐng)域。  

1. 光學(xué)薄膜制備:用于制作高反射、抗反射等光學(xué)薄膜。  

2. 電子器件制備:用于制備半導(dǎo)體器件、導(dǎo)電膜等。  

3. 光學(xué)器件制備:用于制備太陽能電池、液晶顯示器、LED等器件。  

4. 防護(hù)涂層制備:用于制備具有防水、防油、防紫外線、防磨損等性能的涂層。  

總的來說,單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域中的薄膜制備。  

光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀
 

單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):  

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ180-I-DC-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kw

繞絲機(jī)構(gòu)

尺寸

Φ15mmx245mm

繞絲速度

1-300r/min

磁控濺射頭

數(shù)量

2英寸x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

Φ213mmX307mm

觀察窗口

φ80mm

開啟方式

上頂開式、左側(cè)開式

腔體材料

不銹鋼304

電源配置

直流電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

≤300W

匹配方式

自動(dòng)匹配

水冷系統(tǒng)

水箱容積

9L

流量

10L/min

供氣系統(tǒng)

類型

手動(dòng)微量調(diào)節(jié)閥

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

次級(jí)泵

渦輪分子泵

抽速

60L/s

抽氣口

ISO63

出氣口

KF16

真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

 






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