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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > > 多弧離子鍍膜儀 > CY-MIOP500S-2TA實(shí)驗(yàn)室多弧離子鍍鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)：CY-MIOP500S-2TA廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-17訪 問 量：200詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí)，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來，不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛等優(yōu)點(diǎn)。十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時(shí)由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
實(shí)驗(yàn)室多弧離子鍍鍍膜儀設(shè)計(jì)特色：
本設(shè)備配有兩個(gè)多弧靶，分置于腔體兩側(cè)。配合行星式樣品臺(tái)可有效的提高鍍膜效率，改善成效果，該鍍膜儀還采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。
實(shí)驗(yàn)室多弧離子鍍鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào) | CY-MIOP500S-2TA | ||
真空腔體 | 水冷不銹鋼腔體 φ500mm X 490mm（H） 前開門式，配有φ100mm石英觀察窗 內(nèi)置兩組紅外加熱燈，可對(duì)腔體烘烤除氣 預(yù)留多個(gè)CF接口，可安裝多路膜厚儀 | ||
進(jìn)氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計(jì)Ar氣0~200sccm， N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制 | ||
供電要求 | AC 220V 50Hz 10kW | ||
控制方式 | 15英寸觸控屏 組態(tài)控制軟件 | ||
多弧靶 | 數(shù)量規(guī)格 | 3英寸x2 | |
安裝方式 | 腔體側(cè)方對(duì)置 | ||
工作電流 | 0~150A | ||
靶材厚度 | max50mm，min20mm | ||
樣品臺(tái) | 規(guī)格 | 行星式掛架 | |
可懸掛樣品數(shù) | 每支掛架上6個(gè)掛點(diǎn)，共計(jì)6個(gè)掛架 | ||
轉(zhuǎn)速 | 公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速1~20rpm | ||
真空系統(tǒng)
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-GZK103-A | |
分子泵 | 渦輪分子泵 | ||
前極泵 | 雙極旋片泵 | ||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa | |
旋片泵：1.1L/S | |||
極限真空 | 5×10E-4Pa | ||
抽氣接口 | KF40 | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 復(fù)合真空計(jì) | ||
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