真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶（三個靶）、單基片加熱臺、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。磁控濺射鍍膜系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于科研院所，實驗室制備單層或多層薄膜，以及新材料新工藝研究。

產(chǎn)品型號：CY-TRP
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-17
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詳細介紹

品牌	CYKY	價格區(qū)間	10萬-30萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)設(shè)備用途：

用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備?？蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

磁控鍍膜儀典型應(yīng)用：

• 科研領(lǐng)域：納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。

• 電子行業(yè)：半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。

• 教學(xué)演示：材料科學(xué)、真空技術(shù)實驗教學(xué)。

• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例，涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域，體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價值：

真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

真空室		圓筒型前開門結(jié)構(gòu)，尺寸?450×40mm
真空系統(tǒng)配置		復(fù)合分子泵、機械泵、氣動閘板閥、進口SMC氣缸節(jié)流閥
極限壓力		≤6.6 *10^-6 Pa。（經(jīng)烘烤除氣后）
恢復(fù)真空時間		25 分鐘可達到≤6.6×10^-6 Pa。（短時間撰茲大氣并充入干燥氮氣后開始抽氣）
磁控靶組件		永磁靶三套；靶材尺寸?60mm（其中一個可濺射磁性材料）；各靶射頻灘射和直流裁射兼容；靶內(nèi)水冷；三個靶可共同折向上面的樣品中心；靶與樣品距離 90~130mm可調(diào)；每個靶配進口 SMC 旋轉(zhuǎn)氣動擋板
單基片加熱臺	樣品尺寸	?4英寸
	運動方式	基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速 0－30 轉(zhuǎn)/分
	加熱	進口加熱絲加熱，zui高加熱溫度 600℃ ±1℃
	擋板形式	進口 SMC 轉(zhuǎn)角氣缸控制
氣路系統(tǒng)		質(zhì) 量流量控制器 2 路
計算機控制系統(tǒng)		采用 PLC ＋工控機＋觸摸屏全自動控制方式
可選配件		膜厚儀、氣泵、水冷循環(huán)機
設(shè)備占地面積	主機	I000×1800mm²
	電控柜	900×600mm²

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