產(chǎn)品型號  

CY-EVH350JJL-5"-SS  

樣品臺  

外形尺寸  

5"x5"  

轉(zhuǎn)速  

1-20RPM  

可調(diào)溫度  

≦950℃  

熱蒸發(fā)源  

20個紅外燈管作為加熱元件  

真空腔體  

腔體尺寸  

350 mm Dia x 300 mm h  

觀察窗口  

100 mm  

腔體材質(zhì)  

304不銹鋼

開啟方式  

前開門式  

膜厚測量  

晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀）  

真空系統(tǒng)  

配有一套分子泵系統(tǒng)  

系統(tǒng)真空  

1×10^-5Pa  

流量計  

兩路浮子流量計 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m  

工作溫度  

每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。  

兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部  

溫控系統(tǒng)  

兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序   每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)  

水   冷  

循環(huán)水冷機（KJ-5300型，16L/min)  

控制系統(tǒng)  

CYKY自研專業(yè)級控制器  

其他參數(shù)  

供電電源  

208V 60HZ  三相  

整機尺寸  

600mm×650mm×1500mm