真空系統(tǒng)配置  

日本進口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復合數(shù)顯真空測量規(guī)與計、閥門等。  

極限壓力  

≤2.0×10-5Pa  

恢復真空時間  

40分鐘可達到1×10-4Pa  

電動磁力耦合樣品傳遞裝置  

真空室1  

采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進電機驅(qū)動，設有遠程手控控制盒，可控制直線前進后退。  

有機蒸發(fā)源及電源  

真空室1  

新型0EL升華型蒸發(fā)源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發(fā)源電源4臺。  

真空室2  

新型0EL升華型蒸發(fā)源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發(fā)源電源3臺。  

熱阻蒸發(fā)舟及電源  

新型蒸發(fā)舟2組（熱阻蒸發(fā)舟）；  

數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺，帶有細調(diào)功能（0.1安培）；鍍鋁專用盒式蒸發(fā)舟：2個；  

普通金屬蒸發(fā)舟10個；蒸發(fā)源擋板2套；  

膜厚監(jiān)測儀  

厚度分辨率  

不平均：0.0133埃/測量；50個樣品平均：0.002埃/測量  

速率分辨率  

不平均：0.0133埃/秒；50個樣品平均：0.02埃/秒  

精度  

0.03HZ/測量，2ppm  

速度  

每秒測量十次  

真空室照明裝置  

采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈  

烘烤裝置  

在真空室外烘烤帶的烘烤方式  

樣品臺  

樣品尺寸  

可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片  

運動方式  

可電動上下升降，可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速可調(diào)