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該區(qū)域提純爐主由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質(zhì)量流量計、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。區(qū)域提純爐廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。

感應(yīng)式電磁屏蔽區(qū)域提純爐是一種深度提純金屬、金屬化合物或改變雜質(zhì)在金屬錠內(nèi)分布的火法精煉方法，其實質(zhì)是通過局部加熱狹長金屬料錠，通過形成一個狹窄的熔融區(qū)（簡稱熔區(qū)），并使之按一定方向沿料錠緩慢移動，利用雜質(zhì)在固相與液相間平衡濃度的差異，使雜質(zhì)偏析到固相或液相中，反復(fù)操作可以讓雜質(zhì)重新分布到料錠的一端或者兩端。