產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
OLED有機無機蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)配手套箱以金屬/有機源蒸發(fā)為主體,適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導體膜等
高真空三源熱蒸發(fā)鍍膜儀應用領(lǐng)域:金屬和介電膜 ,薄膜傳感器的制造 ,光學元件 ,納米與微電子 ,太陽能電池等
桌面型有機源蒸發(fā)鍍膜儀的物理過程主要包括材料的蒸發(fā)、氣態(tài)粒子的輸運以及在基底上的沉積成膜。在蒸發(fā)過程中,材料需要獲得足夠的熱能以克服分子間的結(jié)合能,從而轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子并從蒸發(fā)源表面逸出 。這些氣態(tài)粒子在輸運過程中基本上無碰撞地直線飛行到基底表面,并在那里凝聚形核生長成固相薄膜。
高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀可提供100A的鍍膜電流,蒸發(fā)溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。
多源真空蒸發(fā)鍍膜儀還適用于對氧敏感的金屬薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸鍍,也適用于各種氧化物材料的蒸鍍
小型電動升降樣品臺蒸發(fā)鍍膜儀為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備安裝有鎢絲籃蒸發(fā)源,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
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