膜厚控制儀

技術(shù)特點(diǎn)：

1. 全觸屏操作，簡(jiǎn)單易用；

2.32個(gè)膜系，每膜系50/100層自動(dòng)鍍膜；

3. 12路信號(hào)輸入/12路開關(guān)量輸出；

4. 提供全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)控制模式;

5.可控制2個(gè)源，一套工作另一套預(yù)溶；

技術(shù)參數(shù)：

特殊功能：

1、手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)3種鍍膜模式，滿足多種鍍膜機(jī)配置；

2、人工停止鍍膜：鍍膜過(guò)程中人工終止鍍膜；

3、手動(dòng)控制：確定初次鍍膜工藝要求；

4、中斷膜系：自動(dòng)和半自動(dòng)鍍膜中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題或出現(xiàn)故障，能停止鍍膜并能自動(dòng)保存當(dāng)前狀態(tài)，待故障**后，可從中斷膜系繼續(xù)鍍膜；

5、自動(dòng)或半自動(dòng)鍍膜時(shí)，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當(dāng)前功率時(shí)間鍍膜、切換晶片繼續(xù)（多晶片探頭）；

6、兩個(gè)源同時(shí)預(yù)熔：當(dāng)前層鍍膜開始過(guò)程中，可選擇同時(shí)對(duì)第2層進(jìn)行預(yù)熔，以滿足對(duì)時(shí)間要求緊張的場(chǎng)合；

7、密碼保護(hù)：膜系和膜層參數(shù)密碼保護(hù)功能，保護(hù)工藝參數(shù)不被非工藝人員修改；

8、鍍膜數(shù)據(jù)記錄：自動(dòng)或半自動(dòng)鍍膜時(shí)，系統(tǒng)可記錄每層膜的成膜時(shí)間、*終厚度速率參數(shù)。