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產(chǎn)品型號：CY-CVD1200-50-4TH-Q廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-11-17訪 問 量：243產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | CYKY |
|---|
全自動CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫；四路質(zhì)子流量計能夠準確控制系統(tǒng)的供氣；全自動CVD滑軌爐真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。
全自動CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做石墨烯的生長、高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火，尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗。
全自動CVD滑軌爐技術(shù)參數(shù)：
項目 | 明細 |
供電電壓 | AC220V，50Hz |
整機功率 | 5KW |
工作溫度 | ≤1100℃ |
加熱速率 | 建議10℃/min |
爐管尺寸 | O.D.50mm-220mm-220mm（加熱區(qū)）-1200mm管長 |
控溫精度 | 0.1℃ |
溫區(qū) | 雙溫區(qū) |
混氣系統(tǒng) | 4路質(zhì)子流量計：100sccm1個；200sccm1個；500sccm2個 |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
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