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全自動CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)
簡要描述:

全自動CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;四路質(zhì)子流量計能夠準確控制系統(tǒng)的供氣;全自動CVD滑軌爐真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。

  • 產(chǎn)品型號:CY-CVD1200-50-4TH-Q
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:243

詳細介紹

品牌CYKY

全自動CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;四路質(zhì)子流量計能夠準確控制系統(tǒng)的供氣;全自動CVD滑軌爐真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。

全自動CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。  

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做石墨烯的生長、高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火,尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗。  


全自動CVD滑軌爐技術(shù)參數(shù):  


項目  

明細  

供電電壓  

AC220V,50Hz  

整機功率  

5KW  

工作溫度  

≤1100℃  

加熱速率  

建議10℃/min  

爐管尺寸  

O.D.50mm-220mm-220mm(加熱區(qū))-1200mm管長  

控溫精度  

0.1℃  

溫區(qū)  

雙溫區(qū)  

混氣系統(tǒng)  

4路質(zhì)子流量計:100sccm1個;200sccm1個;500sccm2個  

真空泵  

雙極旋片真空泵  

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