真空控制  

可通過參數(shù)設(shè)置，自動(dòng)完成抽真空，恒壓工作  

爐管材料  

高純石英  

爐管尺寸  

直徑：50mm，長(zhǎng)度1000mm  

加熱溫區(qū)  

兩溫區(qū)  

溫區(qū)長(zhǎng)度  

200mm+200mm  

工作溫度  

室溫～1100℃  

控溫精度  

±1℃  

升溫速率  

建議10℃/min  

控溫模式  

可編程程序控溫  

密封方式  

真空法蘭密封  

雙通道質(zhì)量流量計(jì)  

氣體通道  

兩通道  

測(cè)量?jī)x器  

質(zhì)量流量計(jì)  

A路量程  

氫氣：0～500SCCM  

B路量程  

氬氣：0～1000SCCM  

連接管道  

拋光不銹鋼管  

氣體緩沖器  

1000ml  

工作壓力  

≦3Mpa  

工作壓差  

0.3MPa  

管道接口  

6.35mm卡套接頭  

真空泵  

抽氣接口  

KF25  

排氣接口  

KF25  

抽氣速率  

24立方米/小時(shí)  

極限真空  

5.0E-2Pa  

電機(jī)功率  

1100W  

電機(jī)轉(zhuǎn)速  

1440轉(zhuǎn)/分鐘  

真空計(jì)  

傳感器類型  

皮拉力  

真空量程  

1.0E-1Pa～1.0E5Pa  

安裝方式  

豎直放置  

工作電壓  

DC24V  

相關(guān)配件  

連接管道  

KF25波紋管1米長(zhǎng)  

聚四氟管5米  

石英爐管1根  

爐管塞子4個(gè)  

爐鉤1支  

防護(hù)手套1雙  

真空法蘭1套（帶密封圈、針閥、氣路接頭）