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產(chǎn)品型號(hào)：CY-EVV195-II-HH-SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-17訪 問(wèn) 量：187產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本儀器是一種具有兩個(gè)蒸發(fā)源的雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀，鎢絲籃（或鎢舟）用作蒸發(fā)源，并且樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體，密封性能好，真空性能好。 該腔室配有觀察窗，因此可以看到涂層過(guò)程。 采用分子泵系統(tǒng)的最高真空10E-5Pa，可有效提高涂層質(zhì)量，并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。
高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途：
高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜。
產(chǎn)品名稱 | 高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVV195-II-HH-SS | |
樣品臺(tái) | 位 置 | 頂部設(shè)置 |
外形尺寸 | 直徑φ65mm | |
轉(zhuǎn) 速 | 0-20 rpm | |
間 距 | 樣品架和蒸發(fā)源之間的距離可調(diào) | |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 鎢絲籃×2個(gè)，鎢舟×2個(gè) | |
蒸發(fā)電源 | 每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源；雙個(gè)蒸發(fā)源可同時(shí)共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ195mm×H210mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開(kāi)啟方式 | 上開(kāi)蓋 | |
膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
整機(jī)功率 | 7KW | |
整機(jī)重量 | 260kg | |
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