產(chǎn)品型號(hào)  

CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS  

樣品臺(tái)  

外形尺寸  

直徑φ60mm  

轉(zhuǎn)速  

≦20rpm  

至蒸發(fā)源間距  

60～100mm 連續(xù)可調(diào)  

熱蒸發(fā)源  

配 2 個(gè)鎢舟、2個(gè)鎢絲籃  

蒸發(fā)電源  

2個(gè)，每個(gè)蒸發(fā)源均配擋板  

真空腔體  

腔體尺寸  

直徑φ170mm，高度210mm  

觀察窗口  

直徑φ60mm  

腔體材質(zhì)  

304不銹鋼  

開(kāi)啟方式  

上開(kāi)啟式  

膜厚測(cè)量  

晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀）  

真空系統(tǒng)  

前級(jí)泵  

雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S  

次級(jí)泵  

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S  

真空測(cè)量  

復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))  

系統(tǒng)真空  

5×10^-4Pa  

控制系統(tǒng)  

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器  

其他參數(shù)  

供電電源  

AC220V,50Hz  

整機(jī)尺寸  

600mm×600mm×750mm  

整機(jī)功率  

1200W  

整機(jī)重量  

40kg