清洗倉體  

清洗倉材質(zhì)  

高純石英  

清洗倉尺寸  

直徑100mm;長度270mm  

射頻電源

電源特性  

該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。  

電源優(yōu)勢(shì)  

●可長時(shí)間正常運(yùn)行
● 操作簡單靈活  

● 電源效率高、發(fā)熱少
● 具有完善的反射功率保護(hù)功能  

射頻功率  

0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào)  

信號(hào)頻率  

13.56MHz ±0.005%  

反射功率  

≤100W  

功率穩(wěn)定度  

±0.1%  

射頻接頭  

N型頭  

整機(jī)效率  

≥75%  

諧波分量  

≤-50 dBc  

冷卻方式  

強(qiáng)制風(fēng)冷  

氣體測(cè)量

測(cè)量部件  

浮子流量計(jì)  

氣體通道  

兩通道  

A通道量程  

10～100ml  

B通道量程  

16～160ml  

真空獲取

真空測(cè)量  

數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)）  

真空抽取  

雙極旋片泵  

電機(jī)轉(zhuǎn)速  

50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。  

抽氣速率  

50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。  

真空量程  

0.1Pa～10000Pa  

極限真空  

0.5Pa  

電機(jī)噪音  

≤56dB  

管道接口  

進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.  

連接管道  

KF16真空波紋管  

真空閥門  

KF16球閥  

電機(jī)功率  

400W  

其它

供電電源  

AC220V 50/60Hz  

整機(jī)功率  

550W/600W  

使用溫度  

-10℃ -- 40℃  

工作真空  

≤40Pa  

整機(jī)尺寸  

540mmX500mmX440mm  

整機(jī)重量  

58kg（含包裝）