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產(chǎn)品型號(hào)：CY-PC13.56M-5L-300SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-17訪 問(wèn) 量：187產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
5L等離子清洗機(jī)電容耦合(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的
腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。
主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) |
清洗倉(cāng)體 | 清洗倉(cāng)材質(zhì) | SS304 |
清洗倉(cāng)尺寸 | 200x160x240mm | |
耦合方式 | 電容耦合 | |
射頻電源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
電源優(yōu)勢(shì) | ●可長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
射頻功率 | 0~300W連續(xù)可調(diào) | |
信號(hào)頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
射頻接頭 | N型頭 | |
整機(jī)效率 | ≥75% | |
諧波分量 | ≤-50 dBc | |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
氣體測(cè)量 | 測(cè)量部件 | 兩路質(zhì)量流量計(jì) Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品 |
氣體通道 | 兩通道 | |
A通道量程 | 10～100ml | |
B通道量程 | 16～160ml | |
真空獲取 | 真空測(cè)量 | 數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)） |
真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。 | |
抽氣速率 | 50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。 | |
真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
極限真空 | 0.5Pa | |
電機(jī)噪音 | ≤56dB | |
管道接口 | 進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16. | |
連接管道 | KF16真空波紋管 | |
真空閥門 | KF16球閥 | |
電機(jī)功率 | 400W | |
其它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
整機(jī)功率 | 800W | |
使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整機(jī)尺寸 | 600mmX650mmX560mm | |
整機(jī)重量 | 80kg（含包裝） | |
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