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產(chǎn)品型號(hào)：CY-EVH300JJL-5-Q廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-17訪 問 量：162產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。
1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷裝置上。
2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。
4、真空法蘭通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10-2torr，通過分子泵真空度可達(dá)10-5torr。
5、兩個(gè)真空法蘭都可以通過手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)。
6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可以準(zhǔn)確測(cè)量腔內(nèi)真空度。
產(chǎn)品名稱 | 5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVH350JJL-5"-Q | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | 5"x5" |
轉(zhuǎn)速 | 1-20RPM | |
可調(diào)溫度 | ≦950℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 20個(gè)紅外燈管作為加熱元件 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 350 mm Dia x 300 mm h |
觀察窗口 | 100 mm | |
腔體材質(zhì) | 高純石英 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 配有一套分子泵系統(tǒng) | |
系統(tǒng)真空 | 1×10-5Pa | |
流量計(jì) | 兩路浮子流量計(jì) 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m | |
工作溫度 | 每個(gè)加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個(gè)加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個(gè)加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部 | |
溫控系統(tǒng) | 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù) | |
水 冷 | 循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min) | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | 208V 60HZ 三相 |
整機(jī)尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
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