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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >    >  二合一鍍膜儀  >  TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀

碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀
簡要描述:

碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀可進(jìn)行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理,蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀采用機(jī)械泵和分子泵,實現(xiàn)高真空。

  • 產(chǎn)品型號:TN-PEC250G-HV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:190

詳細(xì)介紹

品牌CYKY價格區(qū)間1-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀可進(jìn)行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。通過更換功能套件,設(shè)備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機(jī)械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠?qū)崿F(xiàn)高真空,能夠有效提高鍍膜質(zhì)量。  

○ 適用范圍  

實驗室鍍膜使用。  

碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀 技術(shù)參數(shù)  

真空腔體
高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
蒸發(fā)腔體
高純石英,鍍罩狀,帶側(cè)面開孔,尺寸φ88x150mm
等離子濺射腔體
高純石英,鍍罩狀,帶側(cè)面開孔,尺寸φ88x150mm

碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀

 

等離子濺射套件   

濺射電壓1600V  

 
*大電流50mA
 
靶面尺寸2英寸  
 
工作真空10Pa~20Pa
 
工作氣氛需通入高純氬氣  


熱蒸發(fā)鍍膜套件  

蒸發(fā)源數(shù)量2個  

 
*大電流100A
 
工作真空10^-3Pa
 
工作氣氛不通入任何氣體
 
樣品臺直徑φ60mm,可旋轉(zhuǎn)  
 


碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀

 

碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀

 

碳蒸發(fā)套件  

蒸發(fā)方式碳棒蒸發(fā)  

 
*大電流160A
 
工作真空10^-3Pa  
 
工作氣氛不通入任何氣體
 
真空系統(tǒng)
產(chǎn)品型號TN-GZK103-A
 分子泵渦輪分子泵
 前極泵雙極旋片泵
 抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達(dá):5×10E-3Pa
 旋片泵:1.1L/S
 極限真空5×10E-4Pa
 抽氣接口KF40
 排氣接口KF16
 真空測量復(fù)合真空計
進(jìn)氣系統(tǒng)
配有手動微調(diào)閥,接口為1/4英寸卡套接頭
供電要求
AC 220V 50Hz

○免責(zé)聲明  

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