產(chǎn)品型號(hào)  

CY-IV216-15KW-Q  

主要特點(diǎn)  

   1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。  

   2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)系統(tǒng)。  

   3、溫控器采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。  

   4、配有防腐型真空計(jì)，當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8×10E-5  

           torr。  

   5、迷你型浮子流量計(jì)精度為4%。  

   6、配有雙級(jí)旋片機(jī)械泵（2L/s），可使石英管內(nèi)真空度達(dá)到10E-2torr。  

感應(yīng)加熱器  

工作電壓  

三相AC 380 V  50Hz（需60 A空氣開關(guān)）  

工作電流  

5Amps-52Amps（需100A空氣開關(guān)）  

功率  

*大輸入功率15KW  

輸出頻率  

30KHz-80 KHz  

占空比  

80%  

感應(yīng)線圈  

內(nèi)徑Φ220 mm，高65 mm  

空氣冷卻  

后風(fēng)扇  

溫度控制器及熱電偶  

工作電壓  

AC208V-240V  單相  

控溫精度  

±3℃  

熱電偶  

C型，外徑Φ1/4″，長(zhǎng)10″  

連續(xù)工作溫度范圍  

1000℃-2000℃  

*大升溫速率  

4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）  

石墨坩堝（易耗件）  

高純石墨坩堝  

外徑Φ114mm，內(nèi)徑Φ100mm，高142mm    

*大容量  

樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2，*大質(zhì)量為4kg（以鐵標(biāo)定）  

保溫層  

石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）- 高溫氈，總厚度為32mm  

石英管和密封法蘭  

石英管  

兩端開口，外徑Φ216mm，內(nèi)徑Φ208mm，長(zhǎng)500mm  

頂部法蘭  

采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計(jì)、不銹鋼截止閥，設(shè)有1個(gè)1/4″的鎧裝接口（可插入熱電）偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度  

底部法蘭  

設(shè)有KF25接口，可通過(guò)波紋管與真空泵相連接  

水冷機(jī)  

溫度  

5℃-30℃  

水流速  

>16L/min  

水箱容積  

12L，采用不銹鋼制作  

水壓  

≥0.1MPa  

流量  

≥5L/min  

  （建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到*佳的冷卻效果）  

真空泵  

工作電壓：AC208V-240V單相  

移動(dòng)爐架  

尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結(jié)構(gòu)，方便移動(dòng)感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管  

注意事項(xiàng)  

 操作前，必須仔細(xì)閱讀說(shuō)明書，且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，  

 流量小于200ml/min，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過(guò)程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超  

 過(guò)**值，會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造**身傷害。  

其他事項(xiàng)  

 本機(jī)可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。