1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐，采用革新的加熱技術(shù)，可實現(xiàn)真正的基底溫度測量，不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補償，溫度控制**，溫度重復(fù)性高，客戶包括國際上許多半導(dǎo)體公司及科研團隊，是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇

產(chǎn)品型號：CY-RTP1000-Φ300-T
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-16
訪問量：266

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

相關(guān)文章ARTICLES

查看全部

詳細介紹

品牌	CYKY	價格區(qū)間	1萬-2萬
儀器種類	管式爐	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐，采用革新的加熱技術(shù)，可實現(xiàn)真正的基底溫度測量，不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補償，溫度控制**，溫度重復(fù)性高，客戶包括國際上許多半導(dǎo)體公司及科研團隊，是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇。

技術(shù)特色：

• 真正的基片溫度測量，無需傳統(tǒng)的溫度補償

• 紅外鹵素管燈加熱

• 極其優(yōu)異的加熱溫度**性與均勻性

• 快速數(shù)字PID溫度控制

• 不銹鋼冷壁真空腔室

• 系統(tǒng)穩(wěn)定性好

• 帶觸摸屏的PC控制

• 兼容常壓和真空環(huán)境，真空度標(biāo)準值為5×10-3Torr，采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr

• *高3路氣體（MFC控制）

• 沒有交叉污染，沒有金屬污染

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	1200℃RTP退火爐
產(chǎn)品型號	CY-RTP1000-Φ300-T
基片尺寸	12英寸
基片基座	石英針（可選配SiC涂層石墨基座）
溫度范圍	150-1200℃
加熱速率	10-150℃/S
溫度均勻性	≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer) ≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor)
溫度控制精度	≤ ±3℃
溫度重復(fù)性	≤ ±3℃
真空度	5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr
氣路供應(yīng)	標(biāo)準1路N2吹掃及冷卻氣路，由MFC控制（*多可選3路）
退火持續(xù)時間	≥10min@1200℃
溫度控制	快速數(shù)字PID控制
尺　　寸	890mm950mm1400mm

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：CY-RTP1200-T6-HRTP快速退火爐管式
下一篇：CY-RTP1000-Φ180-300-V-T3D打印真空退火爐

国产欧美精品日韩精品视频专区,久久精品国产亚洲av日韩,自拍偷区亚洲综合激情,懂色一区二区三区在线播放,国产91精品久久久久久,国产精品经典三级一区,国产专区视频在线播放,亚洲中文字幕精品人妻,久久久久久久久久桃色

技術(shù)參數(shù)：

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：