全自動超聲波氣氛加熱勻膠機是一種小型、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內(nèi)，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。此款勻膠機適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆?？蓜蚰z最大圓晶尺寸為6英寸，轉(zhuǎn)速可達10000rpm，加速度可達5000rpm；具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動迅速，操作方便等優(yōu)點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優(yōu)良的產(chǎn)品。

全自動超聲波氣氛加熱勻膠機產(chǎn)品特征：  

1. 采用直流無刷電機，單片機控制  

2. 高清晰觸摸屏控制  

3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設(shè)置五步操作  

4. 防堵膠設(shè)計  

5. 鋁合金腔體，堅固耐用  

6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助  

產(chǎn)品參數(shù):