簡單介紹：

近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。

詳情介紹：

近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。

近距離蒸發(fā)鍍膜爐產(chǎn)品特點：

 1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷裝置上。
 2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
 3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。
 4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10-2torr，通過分子泵真空度可達(dá)10-5torr。
 5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進(jìn)行上下移動。
 6、一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以準(zhǔn)確測量腔內(nèi)真空度。

近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)規(guī)格：