產(chǎn)品名稱

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EBH500-SS

樣品臺

外形尺寸

<150mm，樣品臺可旋轉(zhuǎn)

可調(diào)溫度

≦500℃

電子槍

新型電子槍，6孔坩堝

加熱燈

4只鹵素加熱燈用于除氣，1個(gè)氖燈用于照明

真空腔體

腔體尺寸

Φ500*H500mm

觀察窗口

直徑φ100mm

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

膜厚測量

采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)控，涂層厚度不均勻度小于6%。

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))

系統(tǒng)真空

5×10-5Pa

水冷系統(tǒng)

水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測

加熱燈

4只鹵素加熱燈用于除氣，1個(gè)氖燈用于照明

電極接口

帶2路金屬蒸發(fā)電極接口

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制器

其他參數(shù)

供電電源

AC380V,50Hz

整機(jī)尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整機(jī)功率

20KW

整機(jī)重量

350kg