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產(chǎn)品型號(hào)：CY-EVZ270-I-HP-SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-16訪 問(wèn) 量：244產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過(guò)程可見(jiàn)。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
| 樣品臺(tái) | 位 置 | 頂部設(shè)置 |
| 外形尺寸 | 直徑φ150mm | |
| 轉(zhuǎn) 速 | 0-20 rpm可調(diào) | |
| 可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
| 熱蒸發(fā)源 | 鎢舟 | |
| 蒸發(fā)電源 | 蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源 | |
| 濺射電源 | 直流電源 | |
| 濺射靶 | 數(shù)量2"×1 | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ273mm×H300mm |
| 觀察窗口 | 直徑φ80mm | |
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
| 開(kāi)啟方式 | 前開(kāi)門(mén)式 | |
| 膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀） | |
| 真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
| 次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速60L/S | |
| 真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
| 系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
| 控制系統(tǒng) | CYKY自研專(zhuān)業(yè)級(jí)控制器 | |
| 其他參數(shù) | 供電電源 | AC220V,50Hz |
| 整機(jī)尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
| 整機(jī)功率 | 7KW | |
| 整機(jī)重量 | 120kg | |
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