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桌面型石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀
簡要描述:

本產(chǎn)品為桌面型石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀,可提供100A的鍍膜電流,蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVZ195-I-H-SS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:254

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間5萬-10萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬

詳情介紹:

本產(chǎn)品為桌面型石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀,可提供100A的鍍膜電流,蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作,具有便于觀察鍍膜過程,易于清洗的優(yōu)點;配合分子泵組可達(dá)到5x10-4Pa極限真空,能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結(jié)合力。

在電子領(lǐng)域,桌面型石英腔體蒸發(fā)鍍膜儀可用于制備各種電子元件和組件的薄膜。例如,可用于制造集成電路中的金屬化層、電容器中的電極、電阻器中的薄膜電阻等。這些薄膜具有高精度、高均勻性和良好的電性能,對于提高電子元件的性能和穩(wěn)定性具有重要作用。

在光學(xué)領(lǐng)域,該設(shè)備可用于制備光學(xué)薄膜。光學(xué)薄膜在光學(xué)儀器、光學(xué)通信、光學(xué)存儲等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。通過蒸發(fā)鍍膜技術(shù),可以制備出具有高透過率、高反射率或特定光學(xué)性質(zhì)的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜能夠改善光學(xué)系統(tǒng)的性能,提高光學(xué)器件的效率和精度。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVZ180-I-H-Q

樣品臺

外形尺寸

直徑φ60mm

轉(zhuǎn)速

≦20rpm

至蒸發(fā)源間距

60~100mm 連續(xù)可調(diào)

熱蒸發(fā)源

有機蒸發(fā)源(石英舟和鎢絲發(fā)熱源)

蒸發(fā)電源

每個蒸發(fā)源配一組獨立電源

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ180mm,高度200mm

觀察窗口

直徑φ60mm

腔體材質(zhì)

高純石英

開啟方式

上開啟式

膜厚測量

晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀)

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī))

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制器


其他參數(shù)

供電電源

AC220V,50Hz

整機尺寸

600mm×600mm×750mm

整機功率

1200W

整機重量

40kg



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